Trong phần này chúng ta xét f là một hàm ba biến xác định trên mặt (S). Sau khi định nghĩa tích phân mặt ta sẽ xét trường hợp đặc biệt với f(x, y, z) =1 thì giá trị của tích phân mặt chính là diện tích của mặt (S). Chúng ta bắt đầu với mặt tham số và sau đó xử lý trường hợp đặc biệt mà trong đó (S) là đồ thị của hàm hai biến